清洗是清除客户社设备配件在生产过程中产生的污染物的工程。
通过多种清洗办法除去客户制造工程中发生的污染,延长配件寿命,提高客户工序的收率,开动率更大化, 为顾客节约成本提供多种清洗解决方案。
根据客户的各种工艺和配件提供合适的清洗技术。
不仅去除工艺污染物,还将配件表面 维持在更佳状态,控制颗粒,为了提供延长产品寿命的更佳解决方案进行坚持不断地研究开发。
CuStrip™ | CleanPeel™ | SurFinish™ | SurfRestore™ | |
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使用目的 | 将适用Cu工艺的配件的母材损伤减至更小,去除工艺污染物 | 通过将配件损伤减至更小以延长产品寿命 | Al CVDShowerhead 母材和HoleDamage 减少 | 复原Quartz 材质产品的PlasmaEtching表面损伤 |
效果 | 减少母材Etch Rate 延长产品寿命 |
延长产品寿命 | Particle Source减少 维持GasFlowUniformity |
改善Particle 延长产品寿命 |
适用产品 | Al Collimator、Al CoverRing 等 | PVD 工艺Shield 类 | CVD 工艺Show erhead | Quartz Window, Quartz pedestal等 |
效果 |