半导体清洗是清除客户社设备配件在生产过程中产生的污染物的工程。
通过多种半导体清洗办法除去客户制造工程中发生的污染，延长配件寿命，提高客户工序的收率，开动率更大化， 为顾客节约成本提供多种半导体清洗解决方案。
根据客户的各种工艺和配件提供合适的清洗技术。
不仅去除工艺污染物，还将配件表面 维持在更佳状态，控制颗粒，为了提供延长产品寿命的更佳解决方案进行坚持不断地研究开发。
| CuStrip™ | CleanPeel™ | SurFinish™ | SurfRestore™ | |
|---|---|---|---|---|
| 使用目的 | 将适用Cu工艺的配件的母材损伤减至更小，去除工艺污染物 | 通过将配件损伤减至更小以延长产品寿命 | Al CVDShowerhead 母材和HoleDamage 减少 | 复原Quartz 材质产品的PlasmaEtching表面损伤 |
| 效果 | 减少母材Etch Rate 延长产品寿命 |
延长产品寿命 | Particle Source减少 维持GasFlowUniformity |
改善Particle 延长产品寿命 |
| 适用产品 | Al Collimator、Al CoverRing 等 | PVD 工艺Shield 类 | CVD 工艺Show erhead | Quartz Window, Quartz pedestal等 |
| 效果 |  |
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