等离子喷涂是指通过在设备配件表面进行特殊涂层处理，是稳定工艺条件和延长产品寿命的必需工艺。 提供更符合客户工艺的各种涂层技术，抑制颗粒的发生和表面损伤，稳定机室的条件，从而延长 产品的寿命、提高生产率和开工率，为节约客户的成本做贡献。
通过铝（AI）和氧气（O）的电气化学反应，在铝表面形成牢固的氧化铝被膜（Al2O3）的技术。
利用热熔化涂层物质，喷射于配件表面以形成涂层膜的技术。
等离子喷涂技术可以按照涂层工艺和物性区分，为了应对客户公司的10nm 以下的新一代技术， 我司不断地研发独家的涂层技术
| 类别 | 等离子喷涂 | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| Y203 | FineCera™ | SF™ | ||||
| 使用目的 | 通过为半导体配件赋予等离子抵抗特征， 控制颗粒的发生和实现工艺稳定化 |
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| 主要特征 | 等离子耐抵抗特征优秀 | 通过工艺反应控制颗粒的发生 | 通过减少工艺气 体和涂层间的反 应控制工艺变化 |
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| Hardness(Hv) | 400 ~ 450 | 300 ~ 350 | 350 ~ 450 | |||
| 体积抵抗(Ωcm) | E+11~12 | E+10~11 | E+10~11 | |||
| 开工率(%) | 3 ~ 5 | < 2 | < 3 | |||
| 截面图 |  |
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| 类别 | 熔射 | ||
|---|---|---|---|
| ARC | SurfTex-1 | SurfTex-2 | |
| 使用目的 | 通过提高母材与Arc coating 面之间的Adhesion 以提高颗粒控制效果 | ||
| 主要特点 | 引导Byproduct 稳定Depo. | Particle 和Peel off 控制效果通 | 通过形成Pattern以增加污染物Depo， 从而延长P.M 周期 |
| Adhesion(Mpa) | 15 ~ 18 | > 27 | - |
| Bare 对比 表面积增加率（%） |
2% | - | 12% |
| 图片 |  |
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| 类别 | 两极氧化 | |
|---|---|---|
| 硫酸氧化 | 草酸氧化 | |
| 等离子喷涂使用目的 | 为半导体配件赋予绝缘功能，保护外观 | |
| 等离子喷涂主要特点 | 硬度、耐绝缘性优秀 | 耐蚀性优秀 |
| 硬度（Hv） | 400~500 | 350~400 |
| 体积抵抗（Ωcm） | E+9 ~ 10 | E+9 ~ 10 |
| 图片 |  |
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