无锡臻泰半导体科技有限公司

せいみつせんじょう

せいみつせんじょう

洗浄とは?主な洗浄技術洗浄適用画像

1. クリーニングって何ですか。

洗浄は、顧客会社の設備部品が生産過程で発生した汚染物質を除去する工程である。
多種の洗浄方法を通じて顧客の製造工程で発生した汚染を除去し、部品の寿命を延長し、顧客工程の収率を高め、稼働率を最大化し、顧客のコスト節約のために多種の洗浄ソリューションを提供する。

洗浄初期段階
  • 半導体部品洗浄技術の導入
  • 各材質、各工程精密洗浄
  • 物理洗浄技術の改善→
    CO2 Cleaning, Bead, Arc Coating
  • 0.3㎛Size P/C制御
製品表面処理最適化
  • 各種物理洗浄技術の向上→
    お客様の多様なニーズに対応
  • 多機能な製品& ;複合材料の製品洗浄
  • 洗浄工程の精度
  • 0.1㎛Size P/C制御
Nano洗浄技術の導入
  • 表面処理最適化→プロセス収益率の改善
  • 製品の表面積を増やすことでP/C Source
  • を減らす
  • 洗浄プロセスの正確性→品質管理システムの導入
  • 0.04㎛Size P/C制御
Nano洗浄技術の発展
  • SMART Factory – Automation
  • 製品ごとに異なるシナリオを適用
  • 微細プロセス制御→顧客プロセスを削減Defect
  • 環境保護洗浄技術の発展
  • 製品寿命が増加し、Delivery Timeが減少
  • 0.01 um Size P/C制御

主な洗浄技術

お客様のさまざまなプロセスや部品に応じて適切な洗浄技術を提供します。
プロセス汚染物質を除去するだけでなく、部品の表面を最適な状態に維持し、粒子を制御し、製品の寿命を延長する最適なソリューションを提供するために継続的に研究開発を行っている。

を維持する

CuStrip™ CleanPeel™ SurFinish™ SurfRestore™
使用目的 Cuプロセスを適用する部品の母材損傷を最小限に抑え、プロセス汚染物を除去する 継手損傷を最小化して製品寿命を延長することにより Al CVDShowerhead母材とHoleDamage減少 Quartzマテリアル製品のPlasmaEtching表面損傷を復元
効果 母材Etch Rate
を低減 製品寿命の延長
製品寿命の延長 Particle Source減少
GasFlowUniformity
Particleの改善
製品寿命の延長
適用製品 Al Collimator、Al CoverRingなど PVDプロセスShieldクラス CVDプロセスShow erhead Quartz Window,
Quartz pedestalなど
効果

More画像のクリーニング

TEL VIGUS LK2 ESC
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UNDER SHIELD DEPO
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UNDER SHIELD DEPO 180 V2E
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UPPER INNER CHAMBER
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